硅基集成光波导气体传感器的设计与仿真
马宁伯
(
吉林师范大学信息技术学院201
8
级
1
班 吉林四平 136000
)
指导教师:
秦政坤
(
教授
)
中文
摘要
传感器技术作为
全世界所有国家都十分重视的
科学技术
，
在获取、传递信息等方面发挥着重要且
不能被代替
的作用。
在当前的形式下，我们需要
开发新型
，
高效
，
低成本的传感器。硅基材料
，
是一种有着
突出优势
的波导材料
，
所以这种
集成光波导工艺
的
技术
被
应用于新型传感器的制备
上
，
这项技术也必定
具有巨大潜力的新方向。本
课题
基于集成光波导，利用硅片的高精度
硅基集成光波导气体传感器的设计与仿真-14034字.docx