摘要
高精密位移传感器是衡量一个国家制造业发展水平的重要标志。常见的高精密位移传感器以光学位移传感器为主，其中应用范围最广泛的是激光干涉仪和光栅。前者因光路直接暴露于工作环境中，存在抗干扰性差、对工作环境要求高、制造成本高等不足之处；后者因测量精度依赖于栅距的制造精度和空间细分，故存在制造工艺复杂、光栅尺制造设备价格极其昂贵等制约因素；因此，作者所在课题组开展了光场式时栅传感器的研究。在前期单光场时栅传感器测量原理被验证的基础上，本文从光源光场分布特征出发深入开展了光场分布误差分析和优化方面的研
单光场时栅传感器光源仿真与光场分布分析-34297字.docx