本科毕业设计（论文）
紫外激光扩束与准直系统的设计
学 院 物理与光电工程学院
专 业 光电信息科学与工程
年级班别 2018级（2）班
学 号 3118007330
学生姓名 陈锐浩
指导教师 蒙自明
2022年6月
摘要
随着科技的不断发展，激光已被应用于如光波导、芯片制造、光纤通信等许多领域。
其中在芯片制造中，目前的激光干刻法中使用的激光波段达到了紫外光波段。一般来说，
激光器出射的激光发散角较大，并且它的直径是有限的，而激光测量与激光通信等应用
领域对激光的物理性质有着较高的要求。激光扩束准直系统可以把从激光器发出后输入
系统
紫外激光扩束与准直系统的设计-20144字.pdf