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摘要
随着微电子元器件的快速发展，对功率低、性能好、小型化、集成化的要求也日
渐提高。CaCu3Ti4O12（CCTO）作为一种新型的电介质材料，因其介电性质和介电常
数等特点，成为超级电容、变电阻、微波器件、气体传感器和能量存储器件的理想材
料。然而，目前CCTO材料巨介电常数的起源还不明确，限制了其进一步的优化。此
外，虽然CCTO的介电常数很高，但是它的介电损耗也很大，这对它的实际应用是非
常不利的。
本论文利用溶胶-凝胶法制备CCTO薄膜，并对其晶体结构、微观形貌及介电性
能进行了分析，得出了最佳的工艺参数；并初步讨论了
Co掺杂CaCu3Ti4O12薄膜的溶胶凝胶法制备方法及电学性能研究-11401字.pdf