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金属氧化物半导体气体传感元件的设计与研制-12312字.docx

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Abstract With the rapid development of China's economy and society, China's natural resources and environmental problems are becoming increasingly serious. Toxic, harmful gas leakage, flammable gas explosion, food safety and other problems endanger human life and health all the time. Therefore, how to design and develop an ideal gas sensor has become a major problem at present. In recent years, it has been widely used in environmental detection, family security, military security and other aspec
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