摘 要
随着微电子元器件的快速发展，对功率低、性能好、小型化、集成化的要求也日渐提高。
CaCu
3
Ti
4
O
12
（
CCTO
）作为一种新型的电介质材料，因其介电性质和介电常数等特点，成为超级电容、变电阻、微波器件、气体传感器和能量存储器件的理想材料。然而，目前
CCTO
材料巨介电常数的起源还不明确，限制了其进一步的优化。此外，虽然
CCTO
的介电常数很高，但是它的介电损耗也很大，这对它的实际应用是非常不利的。
本论文利用溶胶-凝胶法制备
CCTO
薄膜，并对其晶体结构、微观形貌及介电性能进行了分析，得出了最佳的工艺参数
Co掺杂CaCu3Ti4O12薄膜的溶胶凝胶法制备方法及电学性能研究-11374字.docx