摘
要
随着社会工业的发展，微电子工业稳居全世界最大的产业之一。电介质材料作为电子工业的基础材料被广泛应用在电子器件的制造中。科技的发展也对电介质材料的性能要求更高，因此，制备出介电常数大，损耗低，性能优良的巨
介
电材料一直是重要的研究点。
研究人员使其它元素与
TiO
2
共掺杂以制备出拥有高介电常数，低介电损耗的陶瓷材料。当前的普通
介
电材料已经不能满足发展的需求，制备性能优异的巨
介
电材料变得尤为重要。本文为
采用固相法制备
(
Ca,Ta
)
共掺杂
TiO
2
巨
介
电材料，控制不同的掺杂浓度，观察材料的物相结
(Ca,Ta)共掺杂TiO2巨介电材料微观结构及性能研究-11266字.docx