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MEMS陀螺仪原理与应用研究-18302字.pdf

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Abstract MEMSgyroscopesaresmallsensorsthatcanbeusedtomeasureangularvelocity.Inthe eraofrapiddevelopmentofmaterialandculture,5gandsmartphone,therearemoreandmore applicationsofMEMSgyroscopes,MEMSgyroscopesareanintegralpartofsmartdevices.It notonlyhashighaccuracy,butalsocanbeusedasausefulcomplementtoothersensors, includingindoorpositioning,stepdetectionvirtualgames,vrtechnology,andsoon.Thebook ofthiscourseareratheroldandcannotkeepupwiththedevelopmentoftheTimes,ignoring theunderstandingandapplicatio
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