摘
要
在各种应用领域里都需要能够承受恶劣条件的疏水材料，金属陶瓷
薄膜
由于本身具有的高硬度，高韧性和高熔点等特性，是
非常
理想的疏水材料。
在
金属陶瓷
中，电负性较低的
阳离子
具有较低的路易斯酸度，从而导致其与水氧阴离子形成配位键的能力低，使其氧化物和氮化物薄膜具备较好的疏水性。
锆的氧化物及氮化物薄膜由于其优良的特性被广泛应用在各行业中。在过渡族金属中，锆具有较低的电负性，因此氧化锆及氮化锆薄膜在疏水领域中具有较大的应用前景。此外，疏水薄膜的性能也与其表面的粗糙度有关，而许多研究已表明薄膜的
ZrO2和ZrNx薄膜的结构形貌与润湿性研究-43389字.docx