摘 要
基于柔性温度传感器的电子皮肤，在可穿戴人类活动监测设备和个人医疗健康等应用领域中已经得到广泛的关注。但是，目前电子皮肤研究领域在提高设备稳定性，提高器件灵敏度和降低成本等方面还有诸多挑战有待进一步解决。基于薄膜晶体管的温度传感器具备良好的可重复性，较高的稳定性和高灵敏度，因此在电子皮肤领域具备较大的潜力。
本文基于薄膜晶体管的工作原理，利用
铟镓锌氧
作为
器件
沟道层材料，选择磁控溅射、旋涂等简单工艺，制备得到温度敏感型薄膜晶体管传感器件。为了在人工电子皮肤领域开展相应的应用研究，深入探讨了
基于温度传感器的柔性电子皮肤研究-32829字.docx