摘
要
随着微电子元器件的发展需求，巨
介
电材料被广泛的关注着，它具有高的介电常数、低的能量损耗以及
频率的稳定等特性
。
此材料在微电子领域中有着重要的地位，为了研究出性能优异的巨介电材料，
共掺杂
TiO
2
巨介电材料受到了许多研究者的关注。本论文采用了固相法制备
（
Yb
+T
a
）共掺杂
Ti
O
2
巨介电材料，通过调节不同的掺杂比例，研究不同成分配比条件下材料的物相结构、微观组织形貌和电学性能的变化规律。
为了探究（
Yb+Ta
）共掺杂
TiO
2
电介质材料，制备了
(Yb
0.5
Ta
0.5
)
x
Ti
1-x
O
2
（
x=0.01
、
0.04
、
（Yb+Ta）共掺杂TiO2巨介电材料的微观结构及电学性能研究-13584字.docx