摘要
随着微波集成电路的进一步发展，电子系统的集成程度和复杂程度也愈来愈高，芯片的模块之间和信号线之间的间距越来越小。高度集成化导致的电磁兼容和干扰问题已经严重影响电子系统的性能，在保证芯片内部结构完整的前提下，近场扫描技术便是解决该问题的有效方法之一。电磁场探头是近场扫描系统的关键部件，起到检测定位干扰源的作用。
其中，空间分辨率是评估探头性能的重要指标之一。探针的空间分辨率是指从靠近微带线边缘的峰值开始到
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分贝水平下降点处的距离。然而对于两条间距很小的差分微带线来说，探头可能无法检测定位干扰
微带线表面电磁场的仿真分析-16747字.docx