本科毕业设计(论文)
超精密运动平台的机电联合仿真分析
学 院 机电工程学院
专 业 机械电子工程
年级班别 机械电子工程18(1)
学 号 3118000663
学生姓名 成励
指导教师 马平
2022年5月
摘要
超精密运动平台是一种新型的机床运动平台形式，它采用气浮平台支承工作台和电
机，使用直线电机进行驱动，可以很大程度上降低工作台与支承之间的摩擦，并让工作
台可以实现高速度、高精度运行，机床的寿命相比普通机床可以提升数倍。气浮平台使
用空气进行润滑，可以很好地保护被测量和加工对象，因此超精密运动平台被广泛应用
于精密测量、精密加
超精密运动平台的机电联合仿真分析-19683字.pdf