目
录
1 引言
1
1.1 研究背景及意义
1
1.1.1 研究背景
1
1.1.2 研究意义
2
1.2 国内外研究现状
3
1.3 主要研究内容
4
2 原理介绍
4
2.1 激光振镜扫描原理
4
2.2 PLD原理
5
3 原理样机的整体设计
6
3.1 设备的选择
6
3.1.1 元器件的选择及参数分析
6
3.1.2 供电设备
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3.1.3 总容量的计算
14
3.2 控制系统的设计
15
3.2.1 各部分的受控关系
15
3.2.2 继电器模组的使用
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3.2.3 系统整体原理图
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3.3 光学元件的选择及光路设计
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4 软件使用
20
5 原理样机的调试
22
5.1 静态测试
22
5.2
动态测试
22
5.3
步进电机调试
23
5.4
激光振镜扫描沉积镀膜原理样机研制与实验-15557字.docx