摘
要
现如今在各种高精密工程试验时，都离不开激光器件及光学元件。这些
元器件在使用时不可避免的需要进行调整与定位。而且均要求具有较高的精度。针对这一需要，研制出一套高精度的定位测量设备是至关重要的。该研究就是在此背景下针对四维微调工作台进行系统探讨。
该文主要研究了关于微调工作台的定位原理和结构构成。在整体机构上，通过使用粗动工作台与微动工作台相结合的方式，使其具有较高的定位准确率。四维微调工作台是由齿轮、齿条、螺杆等传动机构实现 X、Y、Z轴的高精度调整，并能调整水平转角和垂直仰角。
该设计
主要
四维微调工作台结构设计-13916字.docx